一種緩沖腔、晶圓傳送系統(tǒng)及其工作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011283475.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112349633A | 公開（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112349633A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-09 |
| 分類號(hào) | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 邱勇;孫曉東 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海訊穎電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201306上海市浦東新區(qū)環(huán)湖西二路888號(hào)C樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種緩沖腔、晶圓傳送系統(tǒng)及其工作方法，緩沖腔包括：位于第一緩沖腔室主體中的若干層第一冷卻盤，第一冷卻盤包括第一晶圓接觸區(qū)；位于第一晶圓接觸區(qū)側(cè)部且貫穿第一冷卻盤的第一位移口；第一升降單元，第一升降單元包括位于第一支撐組件，第一支撐組件適于支撐晶圓的邊緣，第一支撐組件適于在第一位移口的上方、第一位移口中、以及第一位移口的下方做往復(fù)運(yùn)動(dòng)；貫穿底層的第一冷卻盤的第一探測(cè)通道；第一溫度探測(cè)裝置，第一溫度探測(cè)裝置朝向所述第一探測(cè)通道或者延伸至第一探測(cè)通道中。所述緩沖腔能夠?qū)A的冷卻降溫過(guò)程進(jìn)行監(jiān)視和實(shí)時(shí)反饋，有效提升了冷卻效率和傳送能力。?? |
