一種緩沖腔和晶圓傳送系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022655692.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213242506U 公開(kāi)（公告）日 2021-05-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN213242506U 申請(qǐng)公布日 2021-05-18
分類號(hào) H01L21/67;H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 邱勇;孫曉東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海訊穎電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201306 上海市浦東新區(qū)環(huán)湖西二路888號(hào)C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種緩沖腔和晶圓傳送系統(tǒng)，緩沖腔包括：位于第一緩沖腔室主體中的若干層第一冷卻盤，第一冷卻盤包括第一晶圓接觸區(qū)；位于第一晶圓接觸區(qū)側(cè)部且貫穿第一冷卻盤的第一位移口；第一升降單元，第一升降單元包括位于第一支撐組件，第一支撐組件適于支撐晶圓的邊緣，第一支撐組件適于在第一位移口的上方、第一位移口中、以及第一位移口的下方做往復(fù)運(yùn)動(dòng)；貫穿底層的第一冷卻盤的第一探測(cè)通道；第一溫度探測(cè)裝置，第一溫度探測(cè)裝置朝向所述第一探測(cè)通道或者延伸至第一探測(cè)通道中。所述緩沖腔能夠?qū)A的冷卻降溫過(guò)程進(jìn)行監(jiān)視和實(shí)時(shí)反饋，有效提升了冷卻效率和傳送能力。