一種腔內(nèi)晶圓尋心系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022652065.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213242522U 公開（公告）日 2021-05-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN213242522U 申請(qǐng)公布日 2021-05-18
分類號(hào) H01L21/68;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 邱勇;孫曉東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海訊穎電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201306 上海市浦東新區(qū)環(huán)湖西二路888號(hào)C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種腔內(nèi)晶圓尋心系統(tǒng)，包括：主體腔；位于所述主體腔內(nèi)的晶圓支撐平臺(tái)；位于所述晶圓支撐平臺(tái)側(cè)部且貫穿所述主體腔的底壁的若干位移孔；分別位于所述位移孔中的頂針，所述頂針包括頂針本體和限位部；位于所述主體腔的底部的頂針位置調(diào)節(jié)件，所述頂針位置調(diào)節(jié)件適于控制頂針至所述晶圓支撐平臺(tái)的中心軸之間的距離，所述頂針位置調(diào)節(jié)件還適于控制所述頂針在所述位移孔中沿縱向往復(fù)移動(dòng)。所述腔內(nèi)晶圓尋心系統(tǒng)能夠精確定位晶圓在主體腔中的位置，提高工藝重復(fù)性。