一種預(yù)真空鎖模塊、晶圓傳入方法及傳出方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011566379.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112599460A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112599460A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-02 |
| 分類號(hào) | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 邱勇;孫曉東 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海訊穎電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都頂峰專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 楊國(guó)瑞 |
| 地址 | 200000上海市自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號(hào)C樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及晶圓加工技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種預(yù)真空鎖模塊、晶圓傳入方法及傳出方法，即通過(guò)在腔內(nèi)底部中心位置設(shè)置升降旋轉(zhuǎn)臺(tái)，以及在腔內(nèi)上下對(duì)準(zhǔn)設(shè)置激光發(fā)射器和激光接收器，并使所述激光發(fā)射器和所述激光接收器的位置中心至所述升降旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸心線的徑向間距分別等于晶圓半徑，可在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中根據(jù)所述升降旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)角度和由所述激光接收器采集的激光束接收強(qiáng)度，來(lái)確定晶圓的圓心位置和缺口位置，如此不但可使所述預(yù)真空鎖模塊集成有確定晶圓的圓心位置及缺口位置的功能，利于減少晶圓加工設(shè)備的體積，還無(wú)需要求晶圓拿取手臂必須采取直線且速度固定的晶圓傳送方式，以及無(wú)需增加移動(dòng)點(diǎn)，因此可優(yōu)化晶圓傳送流程，提升晶圓傳送效率。?? |
