一種硅基微顯示面板的擴(kuò)晶治具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201922474366.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN211088221U 公開(kāi)(公告)日 2020-07-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN211088221U 申請(qǐng)公布日 2020-07-24
分類號(hào) H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 杜永群;李端鵬;單現(xiàn)峰;張政 申請(qǐng)(專利權(quán))人 合肥視涯顯示科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海恒銳佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 合肥視涯顯示科技有限公司
地址 230012安徽省合肥市新站區(qū)合肥綜合保稅區(qū)內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種硅基微顯示面板的擴(kuò)晶治具,包括擴(kuò)晶環(huán)和擴(kuò)晶環(huán)承載治具;所述擴(kuò)晶環(huán)包括子環(huán)和母環(huán),所述母環(huán)上設(shè)置有凹槽,所述子環(huán)和所述母環(huán)的卡合組合;所述擴(kuò)晶環(huán)承載治具包括外環(huán)面和內(nèi)環(huán)面,所述內(nèi)環(huán)面為鏤空的圓形,所述內(nèi)環(huán)面的直徑小于所述擴(kuò)晶環(huán)的母環(huán)的直徑;在所述內(nèi)環(huán)面的邊緣設(shè)置有凸起卡扣,所述凸起卡扣和所述凹槽相互匹配;所述擴(kuò)晶環(huán)承載治具的所述凸起卡扣卡入所述擴(kuò)晶環(huán)的凹槽內(nèi),將所述擴(kuò)晶環(huán)固定。本實(shí)用新型提供的適用于硅基微顯示面板的擴(kuò)晶治具,可適用于半自動(dòng)擴(kuò)膜工藝和全自動(dòng)芯片拾取工藝,優(yōu)化了硅基微顯示面板的制造工序并且提高了良率。??