一種碳化硅瑕疵檢測設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020326096.1 申請日 -
公開（公告）號 CN211927730U 公開（公告）日 2020-11-13
申請公布號 CN211927730U 申請公布日 2020-11-13
分類號 G01N21/95(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 黃英俊 申請（專利權(quán)）人 上海謙視智能科技有限公司
代理機構(gòu) 北京知呱呱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海謙視智能科技有限公司
地址 201613上海市松江區(qū)中山街道明南路85號15幢1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型實施例公開了一種碳化硅瑕疵檢測設(shè)備，屬于半導體檢測技術(shù)領(lǐng)域，其技術(shù)方案如下，包括支撐架，所述支撐架上設(shè)置有載物臺與成像裝置，成像裝置位于載物臺上方，所述載物臺上設(shè)置有通孔，所述支撐架位于成像裝置與載物臺之間的位置設(shè)置有照向載物臺的第一光源，所述支撐架位于載物臺下方的位置設(shè)置有照向載物臺透射光源；所述支撐架位于透射光源的下方的位置還設(shè)置有照向載物臺的偏振光源，所述支撐架位于成像裝置下方的位置設(shè)置有驗偏器，所述驗偏器可轉(zhuǎn)動并脫離成像裝置的正下方，以解決現(xiàn)有技術(shù)中由于利用肉眼直接觀測該碳化硅襯底片是否存在瑕疵，檢測相對比較費力，且不夠準確的問題。??