3D形貌測(cè)量誤差的在線補(bǔ)償測(cè)量裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920238210.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN209230556U 公開(kāi)（公告）日 2019-08-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN209230556U 申請(qǐng)公布日 2019-08-09
分類號(hào) G01B11/24 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 宋金龍;黃英俊;馬軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海謙視智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京知呱呱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海謙視智能科技有限公司
地址 201100 上海市閔行區(qū)新駿環(huán)路115號(hào)1幢4層402室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型實(shí)施例公開(kāi)了一種3D形貌測(cè)量誤差的在線補(bǔ)償測(cè)量裝置，屬于產(chǎn)品測(cè)量設(shè)備領(lǐng)域，其技術(shù)方案要點(diǎn)包括基準(zhǔn)墊片、固定夾具、產(chǎn)品測(cè)量傳感器和補(bǔ)差測(cè)量傳感器，所述基準(zhǔn)墊片水平設(shè)置在3D形貌測(cè)量?jī)x的滑臺(tái)上，所述固定夾具固定在基準(zhǔn)墊片上方，所述固定夾具上側(cè)放置待測(cè)產(chǎn)品，所述產(chǎn)品測(cè)量傳感器設(shè)置于固定夾具上方，所述補(bǔ)差測(cè)量傳感器設(shè)置于3D形貌測(cè)量?jī)x的滑臺(tái)下方，達(dá)到了消除由于滑臺(tái)平整度不高造成的測(cè)量誤差，降低滑臺(tái)生產(chǎn)成本的效果。