3D形貌測量誤差的在線補償測量裝置及測量方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201910138226.0 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN109668522A | 公開(公告)日 | 2019-04-23 |
申請公布號 | CN109668522A | 申請公布日 | 2019-04-23 |
分類號 | G01B11/24(2006.01)I | 分類 | 測量;測試; |
發(fā)明人 | 宋金龍; 黃英俊; 馬軍 | 申請(專利權)人 | 上海謙視智能科技有限公司 |
代理機構 | 北京知呱呱知識產(chǎn)權代理有限公司 | 代理人 | 上海謙視智能科技有限公司 |
地址 | 201100 上海市閔行區(qū)新駿環(huán)路115號1幢4層402室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明實施例公開了一種3D形貌測量誤差的在線補償測量裝置及測量方法,屬于產(chǎn)品測量設備領域,其技術方案要點包括基準墊片、固定夾具、產(chǎn)品測量傳感器和補差測量傳感器,所述基準墊片水平設置在3D形貌測量儀的滑臺上,所述固定夾具固定在基準墊片上方,所述固定夾具上側(cè)放置待測產(chǎn)品,所述產(chǎn)品測量傳感器設置于固定夾具上方,所述補差測量傳感器設置于3D形貌測量儀的滑臺下方,達到了消除由于滑臺平整度不高造成的測量誤差,降低滑臺生產(chǎn)成本的效果。 |
