3D形貌測量誤差的在線補償測量裝置及測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910138226.0 申請日 -
公開（公告）號 CN109668522A 公開（公告）日 2019-04-23
申請公布號 CN109668522A 申請公布日 2019-04-23
分類號 G01B11/24（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 宋金龍; 黃英俊; 馬軍 申請（專利權）人 上海謙視智能科技有限公司
代理機構 北京知呱呱知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 上海謙視智能科技有限公司
地址 201100 上海市閔行區(qū)新駿環(huán)路115號1幢4層402室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例公開了一種3D形貌測量誤差的在線補償測量裝置及測量方法，屬于產(chǎn)品測量設備領域，其技術方案要點包括基準墊片、固定夾具、產(chǎn)品測量傳感器和補差測量傳感器，所述基準墊片水平設置在3D形貌測量儀的滑臺上，所述固定夾具固定在基準墊片上方，所述固定夾具上側(cè)放置待測產(chǎn)品，所述產(chǎn)品測量傳感器設置于固定夾具上方，所述補差測量傳感器設置于3D形貌測量儀的滑臺下方，達到了消除由于滑臺平整度不高造成的測量誤差，降低滑臺生產(chǎn)成本的效果。