鍵合系統(tǒng)和鍵合方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111595678.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114005779A 公開（公告）日 2022-02-01
申請公布號 CN114005779A 申請公布日 2022-02-01
分類號 H01L21/68（2006.01）I;H01L21/60（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 田應(yīng)超;劉天建;曹瑞霞;程曲 申請（專利權(quán)）人 湖北三維半導(dǎo)體集成創(chuàng)新中心有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京派特恩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張雪;胡春光
地址 430000湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)高新四路18號新芯生產(chǎn)線廠房及配套設(shè)施2幢O(jiān)S6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開實(shí)施例公開了一種鍵合系統(tǒng)和鍵合方法。所述鍵合系統(tǒng)包括：鍵合組件，包括：用于拾取第一待鍵合管芯的鍵合頭，以及貫穿所述鍵合頭的第一光通路；其中，所述第一光通路的第一端位于所述鍵合頭拾取所述第一待鍵合管芯的拾取面；第一對準(zhǔn)組件，用于在所述鍵合組件位于第一位置時(shí)，通過所述第一光通路的第二端向所述第一端發(fā)射檢測光信號；所述第一對準(zhǔn)組件，還用于接收所述檢測光信號經(jīng)所述第一待鍵合管芯反射的反射光信號，并根據(jù)接收的所述反射光信號確定所述第一待鍵合管芯的當(dāng)前位置與第一目標(biāo)位置之間的第一偏差值；第二對準(zhǔn)組件，用于確定所述晶圓上第二待鍵合管芯的當(dāng)前位置與第二目標(biāo)位置的第二偏差值。