鍵合系統(tǒng)和鍵合方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111594258.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113990790A 公開(kāi)（公告）日 2022-01-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113990790A 申請(qǐng)公布日 2022-01-28
分類號(hào) H01L21/68（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/50（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 田應(yīng)超;劉天建;曹瑞霞;汪松 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖北三維半導(dǎo)體集成創(chuàng)新中心有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京派特恩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 高天華;蔣雅潔
地址 430000湖北省武漢市東湖新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)高新四路18號(hào)新芯生產(chǎn)線廠房及配套設(shè)施2幢O(jiān)S6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開(kāi)實(shí)施例公開(kāi)了一種鍵合系統(tǒng)和鍵合方法。所述鍵合系統(tǒng)包括：鍵合組件、晶圓承載臺(tái)、第一對(duì)準(zhǔn)組件和第二對(duì)準(zhǔn)組件；晶圓承載臺(tái)，用于根據(jù)第一對(duì)準(zhǔn)組件確定的第一偏差值和第二對(duì)準(zhǔn)組件確定的第二偏差值，驅(qū)動(dòng)承載的晶圓移動(dòng)，以使第二管芯對(duì)準(zhǔn)第一管芯；鍵合組件，用于鍵合第一管芯和第二管芯；該鍵合系統(tǒng)還包括第三對(duì)準(zhǔn)組件，位于晶圓承載臺(tái)相對(duì)遠(yuǎn)離鍵合組件的一側(cè)，用于確定已完成鍵合的第一管芯的位置與第二管芯的位置之間的第三偏差值；鍵合組件，還用于在第三偏差值大于預(yù)設(shè)閾值時(shí)，解鍵合第一管芯與第二管芯。