鍵合系統(tǒng)和鍵合方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111594630.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114005777A 公開(kāi)（公告）日 2022-02-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN114005777A 申請(qǐng)公布日 2022-02-01
分類號(hào) H01L21/68（2006.01）I;H01L21/60（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 田應(yīng)超;劉天建;曹瑞霞;張偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖北三維半導(dǎo)體集成創(chuàng)新中心有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京派特恩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張雪;胡春光
地址 430000湖北省武漢市東湖新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)高新四路18號(hào)新芯生產(chǎn)線廠房及配套設(shè)施2幢O(jiān)S6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開(kāi)實(shí)施例公開(kāi)了一種鍵合系統(tǒng)和鍵合方法。鍵合系統(tǒng)包括：鍵合組件，包括：鍵合頭以及貫穿鍵合頭的第一光通路；第一對(duì)準(zhǔn)組件，用于在鍵合頭位于第一位置時(shí)，確定拾取面相較于水平面的偏移量；鍵合組件，還用于根據(jù)偏移量，驅(qū)動(dòng)鍵合頭移動(dòng)至平行于水平面的第二位置；第一對(duì)準(zhǔn)組件，還用于在鍵合頭位于第二位置時(shí)，通過(guò)第一光通路的第二端向第一端發(fā)射檢測(cè)光信號(hào)；第一對(duì)準(zhǔn)組件，還用于接收檢測(cè)光信號(hào)經(jīng)第一待鍵合管芯反射的反射光信號(hào)，并根據(jù)接收的反射光信號(hào)確定第一待鍵合管芯的當(dāng)前位置與第一目標(biāo)位置之間的第一偏差值；第二對(duì)準(zhǔn)組件，用于確定晶圓上第二待鍵合管芯的當(dāng)前位置與第二目標(biāo)位置的第二偏差值。