一種氣相沉積爐用陶瓷熱電偶與剛玉陶瓷護(hù)管間防黏連方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110420410.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113125027A 公開（公告）日 2021-07-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN113125027A 申請(qǐng)公布日 2021-07-16
分類號(hào) G01K7/02;G01K1/08 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 俞雄俊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 內(nèi)蒙古康碳復(fù)合材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海新隆知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 金利琴
地址 365000 福建省三明市永安市貢川鎮(zhèn)水東園區(qū)21號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種氣相沉積爐用陶瓷熱電偶與剛玉陶瓷護(hù)管間防黏連方法，包括以下步驟：材料準(zhǔn)備：耐高溫陶瓷熱電偶一支，剛玉陶瓷護(hù)管一支，氮化硼溶液1～2L，碳纖維絲束約5米長(zhǎng)和碳?xì)制?；陶瓷熱電偶與剛玉陶瓷護(hù)管表面用氮化硼溶液處理；對(duì)碳纖維絲束預(yù)處理；將碳纖維絲束捆裹熱電偶本體及剛玉陶瓷護(hù)管；將捆裹好的陶瓷熱電偶本體與剛玉陶瓷護(hù)管組裝，將碳?xì)制M(jìn)護(hù)管，組裝完成。本發(fā)明可以有效地延長(zhǎng)陶瓷熱電偶在氣相沉積爐內(nèi)的使用壽命，減少更換熱電偶頻次，提高生產(chǎn)效率。