一種2D碳/碳PECVD載板的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011391150.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112552066A 公開（公告）日 2021-03-26
申請公布號 CN112552066A 申請公布日 2021-03-26
分類號 C23C16/50(2006.01)I;C04B35/83(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 于紅剛 申請（專利權(quán)）人 內(nèi)蒙古康碳復(fù)合材料科技有限公司
代理機構(gòu) 上海新隆知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 金利琴
地址 365000福建省三明市永安市貢川鎮(zhèn)水東園區(qū)21號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種2D碳/碳PECVD載板的制備方法，其是一種新的PECVD載板產(chǎn)品工藝，使載板產(chǎn)品在使用過程中不僅保持板材的整體性能及使用性能，同時在工藝方面具有低生產(chǎn)成本，易批量生產(chǎn)的特點，生產(chǎn)的載板產(chǎn)品層間結(jié)合強度高、碳纖維含量高、平整性好、使用壽命長等特點，大大增強了PECVD載板產(chǎn)品的剛度，有效改善板材使用變形、分層及斷裂的問題，且生產(chǎn)成本低。??