一種有效提高沉積爐恒溫區(qū)均溫性的碳?xì)直貙永p繞方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011391176.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112663020A 公開(kāi)（公告）日 2021-04-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN112663020A 申請(qǐng)公布日 2021-04-16
分類號(hào) C23C16/26;C23C16/44 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 邵忠 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 內(nèi)蒙古康碳復(fù)合材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海新隆知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 金利琴
地址 365000 福建省三明市永安市貢川鎮(zhèn)水東園區(qū)21號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)一種有效提高沉積爐恒溫區(qū)均溫性的碳?xì)直貙永p繞方法，通過(guò)在發(fā)熱體外表面沿高度方向纏繞不同厚度的碳?xì)直貙?，改變發(fā)熱體沿厚度方向上散熱量來(lái)彌補(bǔ)通氣時(shí)沿高度方向的溫度差異。通過(guò)本發(fā)明此種方式處理，可有效改善高度方向的溫度差異。