一種有效提高沉積爐恒溫區(qū)均溫性的碳氈保溫層纏繞方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011391176.6 申請日 -
公開（公告）號 CN112663020A 公開（公告）日 2021-04-16
申請公布號 CN112663020A 申請公布日 2021-04-16
分類號 C23C16/26;C23C16/44 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 邵忠 申請（專利權(quán)）人 內(nèi)蒙古康碳復合材料科技有限公司
代理機構(gòu) 上海新隆知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 金利琴
地址 365000 福建省三明市永安市貢川鎮(zhèn)水東園區(qū)21號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種有效提高沉積爐恒溫區(qū)均溫性的碳氈保溫層纏繞方法，通過在發(fā)熱體外表面沿高度方向纏繞不同厚度的碳氈保溫層，改變發(fā)熱體沿厚度方向上散熱量來彌補通氣時沿高度方向的溫度差異。通過本發(fā)明此種方式處理，可有效改善高度方向的溫度差異。