一種利用離子濺射與激光復(fù)合技術(shù)制備石墨烯的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910343894.7 申請日 -
公開（公告）號 CN110040723A 公開（公告）日 2019-07-23
申請公布號 CN110040723A 申請公布日 2019-07-23
分類號 C01B32/184 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 袁志剛;張武 申請（專利權(quán)）人 遼寧烯旺石墨科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽東大知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 梁焱
地址 112700 遼寧省鐵嶺市調(diào)兵山市北工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種利用離子濺射與激光復(fù)合技術(shù)制備石墨烯的方法，按以下步驟進(jìn)行：(1)將納米碳粉在真空條件下進(jìn)行熱處理，隨爐冷卻至常溫獲得熱處理納米碳粉；(2)將熱處理納米碳粉置于離子濺射儀中作為碳靶；對基片進(jìn)行離子濺射制成碳膜；(3)將覆蓋有碳膜的基片置于真空條件下，通過激光發(fā)射裝置進(jìn)行激光輻照，激光輻照分為低溫輻照、中溫輻照和高溫輻照三個(gè)階段，在基片表面制成石墨烯。本發(fā)明方法制備過程精度高，可控性好，原料利用率達(dá)100％，無需處理副產(chǎn)物，清潔環(huán)保無污染。