一種振動(dòng)檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021148455.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213422398U 公開(kāi)（公告）日 2021-06-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN213422398U 申請(qǐng)公布日 2021-06-11
分類號(hào) G01H11/08（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 萬(wàn)蔡辛;何政達(dá);劉新華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無(wú)錫韋感半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京成創(chuàng)同維知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李鎮(zhèn)江
地址 214000 江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)菱湖大道111號(hào)無(wú)錫軟件園天鵝座C棟5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型實(shí)施例公開(kāi)了一種振動(dòng)檢測(cè)裝置。該振動(dòng)檢測(cè)裝置包括襯底；背極；以及振膜結(jié)構(gòu)；振膜結(jié)構(gòu)可振動(dòng)地設(shè)置于所述襯底和所述背極之間，并與所述背極形成電容，其中，所述振膜結(jié)構(gòu)包括振膜以及位于所述振膜上表面和/或下表面的至少一個(gè)質(zhì)量塊，使所述振動(dòng)檢測(cè)裝置對(duì)3?12kHz帶寬范圍的信號(hào)敏感，所述振膜上還設(shè)置有加強(qiáng)筋，以改變所述振膜的剛性。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的振動(dòng)檢測(cè)裝置，在振膜的上表面和/或下表面設(shè)計(jì)有用于增加質(zhì)量的質(zhì)量塊，以及用于改變振膜剛性的加強(qiáng)筋，形成了新的振膜結(jié)構(gòu)，增加了對(duì)振動(dòng)信號(hào)敏感的靈敏度，實(shí)現(xiàn)對(duì)人類語(yǔ)音范圍內(nèi)的機(jī)械/骨骼振動(dòng)信號(hào)敏感。