高潔凈度的曝光裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120858458.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214918384U 公開（公告）日 2021-11-30
申請公布號 CN214918384U 申請公布日 2021-11-30
分類號 B08B1/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;B08B17/02（2006.01）I;G03F7/20（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 伍佩銘;許迪;董鵬程;高輝;孫勝延;楊艷 申請（專利權(quán)）人 乾宇電子材料（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市恒程創(chuàng)新知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王啟蒙
地址 523000廣東省東莞市松山湖園區(qū)工業(yè)西路14號1棟1704室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開一種高潔凈度的曝光裝置，該高潔凈度的曝光裝置包括基臺(tái)、第一清潔組件以及第二清潔組件，定義基臺(tái)具有上下方向和垂直上下方向的前后方向，基臺(tái)的上表面形成有工作臺(tái)面；第一清潔組件包括驅(qū)動(dòng)件和清潔刷，驅(qū)動(dòng)件設(shè)于基臺(tái)，清潔刷連接于驅(qū)動(dòng)件，并抵接于工作臺(tái)面，清潔刷還可被驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)而在工作臺(tái)面上沿前后方向往復(fù)移動(dòng)；第二清潔組件包括風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組和導(dǎo)風(fēng)罩，風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組設(shè)于基臺(tái)，并位于工作臺(tái)面的左側(cè)，且風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組的出風(fēng)端朝向工作臺(tái)面，導(dǎo)風(fēng)罩連通于風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組的出風(fēng)端，并沿朝向工作臺(tái)面的方向延伸設(shè)置。本實(shí)用新型技術(shù)方案能夠提高曝光裝置的曝光質(zhì)量。