新型線路結(jié)構(gòu)的制作工藝及新型線路結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110181570.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113056107A 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN113056107A 申請公布日 2021-06-29
分類號 H05K3/16 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 吳勇軍 申請（專利權(quán)）人 深圳明陽芯蕊半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州華博知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 楊敏
地址 518101 廣東省深圳市寶安區(qū)新橋街道上星社區(qū)南環(huán)路第二工業(yè)區(qū)第4棟201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種新型線路結(jié)構(gòu)的制作工藝及新型線路結(jié)構(gòu)，該制作工藝如下步驟：S11：通過迭層法形成線路層和覆蓋所述線路層的絕緣層；S12：在所述絕緣層上形成溝槽；S13：進(jìn)行等離子清洗，并濺射底銅或化學(xué)沉銅；S14：貼膜并進(jìn)行曝光顯影；S15：進(jìn)行圖形電鍍；S16：褪膜處理；S17：蝕刻底銅。本發(fā)明的新型線路結(jié)構(gòu)的制作工藝提高了線路結(jié)構(gòu)的精細(xì)度、增強(qiáng)了線路與基板的結(jié)合力和線路的導(dǎo)通性能，并且制作工藝更加簡單。