一種尾氣回收和氫化工藝相結合的多晶硅生產(chǎn)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201120068150.8 申請日 -
公開（公告）號 CN202072479U 公開（公告）日 2011-12-14
申請公布號 CN202072479U 申請公布日 2011-12-14
分類號 C01B33/03(2006.01)I;C01B33/107(2006.01)I 分類 無機化學;
發(fā)明人 楊龍軍;都龍甫;張揚;張智利;易成剛 申請（專利權）人 洛陽世紀新源硅業(yè)科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 471333 河南省洛陽市伊川縣水寨鎮(zhèn)左寨村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種尾氣回收和氫化工藝相結合的多晶硅生產(chǎn)裝置，是由：混合氣進氣管道，緩沖罐，增壓機進口管道，混合氣增壓機，增壓機出口管道，增壓機二回一管道，循環(huán)氫氣儲罐，循環(huán)氫氣管道，循環(huán)氫氣壓縮機進口管道，循環(huán)氫氣壓縮機，循環(huán)氫氣壓縮機出口管道構成；采用氯化氫是和氫氣混合氣被排出變壓吸附系統(tǒng)后直接進入氫化系統(tǒng)，與氫化系統(tǒng)中的氣相四氯化硅和固態(tài)硅粉在催化劑表面進行多相催化反應，生產(chǎn)出三氯氫硅成為多晶硅生產(chǎn)的原料，使氫氣進一步回收，提高氫氣利用率，完善了系統(tǒng)穩(wěn)定和安全操作的要求，無污染，有利于環(huán)境保護。結構簡單，改造方便，減少排放及污染，降低了氫氣的浪費，節(jié)約了時間，降低成本、同時保護了環(huán)境。