四氯化硅冷氫化生產(chǎn)三氯氫硅

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910065761.4 申請日 -
公開（公告）號 CN101618874B 公開（公告）日 2011-04-27
申請公布號 CN101618874B 申請公布日 2011-04-27
分類號 C01B33/107(2006.01)I 分類 無機化學;
發(fā)明人 張揚;馬麟;李占青 申請（專利權(quán)）人 洛陽世紀新源硅業(yè)科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 471333 河南省洛陽市伊川縣水寨鎮(zhèn)左寨村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 四氯化硅冷氫化生產(chǎn)三氯氫硅，將四氯化硅和氫氣混合汽化后與硅粉料、催化劑銅粉進入到高壓狀態(tài)進入到桶狀冷氫化反應(yīng)器中；在桶狀冷氫化反應(yīng)器中，在溫度為300℃至500℃、壓力為1.5至5.5MPa、PH為5至7、混和氣體流速為12m/s的條件下進行連續(xù)反應(yīng)，生成三氯氫硅。用本方法生產(chǎn)的三氯氫硅能達到直接用于生產(chǎn)電子級多晶硅的三氯氫硅，提高轉(zhuǎn)化效率(達到30~35％)，整個過程中物料循環(huán)利用，無污染，有利于環(huán)境保護，減少企業(yè)成本、增加企業(yè)效益。