一種觸發(fā)式對(duì)位結(jié)構(gòu)的直寫式曝光系統(tǒng)及方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201810480510.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN108710266B | 公開（公告）日 | 2021-05-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108710266B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-04 |
| 分類號(hào) | G03F7/20;G03F9/00 | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 陳海巍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無錫影速半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 哈爾濱市陽光惠遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 張勇 |
| 地址 | 221000 江蘇省徐州市邳州市恒山路西側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種觸發(fā)式對(duì)位結(jié)構(gòu)的直寫式曝光系統(tǒng)及方法，屬于印刷線路板技術(shù)領(lǐng)域。所述系統(tǒng)包括：監(jiān)測(cè)裝置、位置獲取裝置和計(jì)算裝置。本發(fā)明通過將待曝光樣品的實(shí)時(shí)位置信息輸入至位置獲取裝置，以便在待曝光樣品運(yùn)動(dòng)至預(yù)定位置時(shí)觸發(fā)位置獲取裝置通過獲取所述待曝光樣品上的對(duì)位標(biāo)記的位置，并同時(shí)記錄所述待曝光樣品的位置，根據(jù)該待曝光樣品的位置直接計(jì)算對(duì)位標(biāo)記在曝光坐標(biāo)系中的位置，以便根據(jù)計(jì)算出的對(duì)位標(biāo)記在曝光坐標(biāo)系中的位置進(jìn)行曝光，解決了在對(duì)位過程中運(yùn)動(dòng)平臺(tái)需要多次啟動(dòng)與停止從而導(dǎo)致的對(duì)位時(shí)間長和對(duì)位精度達(dá)不到要求的問題，應(yīng)用在雙面臺(tái)系統(tǒng)中時(shí)，減少了對(duì)位時(shí)間，提高了對(duì)位精度并達(dá)到最大的生產(chǎn)稼動(dòng)率。 |
