一種觸發(fā)式對位結構的直寫式曝光系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810480510.1 申請日 -
公開（公告）號 CN108710266B 公開（公告）日 2021-05-04
申請公布號 CN108710266B 申請公布日 2021-05-04
分類號 G03F7/20;G03F9/00 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 陳海巍 申請（專利權）人 無錫影速半導體科技有限公司
代理機構 哈爾濱市陽光惠遠知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 張勇
地址 221000 江蘇省徐州市邳州市恒山路西側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種觸發(fā)式對位結構的直寫式曝光系統(tǒng)及方法，屬于印刷線路板技術領域。所述系統(tǒng)包括：監(jiān)測裝置、位置獲取裝置和計算裝置。本發(fā)明通過將待曝光樣品的實時位置信息輸入至位置獲取裝置，以便在待曝光樣品運動至預定位置時觸發(fā)位置獲取裝置通過獲取所述待曝光樣品上的對位標記的位置，并同時記錄所述待曝光樣品的位置，根據(jù)該待曝光樣品的位置直接計算對位標記在曝光坐標系中的位置，以便根據(jù)計算出的對位標記在曝光坐標系中的位置進行曝光，解決了在對位過程中運動平臺需要多次啟動與停止從而導致的對位時間長和對位精度達不到要求的問題，應用在雙面臺系統(tǒng)中時，減少了對位時間，提高了對位精度并達到最大的生產(chǎn)稼動率。