一種曝光設(shè)備的光源能量檢測電路系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121866942.X 申請日 -
公開（公告）號 CN215813731U 公開（公告）日 2022-02-11
申請公布號 CN215813731U 申請公布日 2022-02-11
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 肖燕青;路建軍;吳永超 申請（專利權(quán)）人 無錫影速半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 哈爾濱市陽光惠遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張勇
地址 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道200號中國傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園F3棟1-3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種曝光設(shè)備的光源能量檢測電路系統(tǒng)，屬于曝光電路技術(shù)領(lǐng)域。該曝光設(shè)備的光源能量檢測電路系統(tǒng)包括：電源模塊、能量采集模塊、數(shù)據(jù)處理模塊和上位機(jī)。通過能量采集模塊中的硅光電二極管把采集到的光信號轉(zhuǎn)換為微弱的電流信號，經(jīng)過采樣電阻后轉(zhuǎn)為相應(yīng)的電壓值，之后經(jīng)過運算放大器將電壓放大，通過公式I＝V/R得到電流值，根據(jù)光電二極管的光靈敏度參數(shù)K，通過公式P＝I/K得出對應(yīng)的光功率值；該曝光設(shè)備的光源能量檢測電路系統(tǒng)硬件構(gòu)成簡單，只需要將硅光電二極管處于曝光光源的光路正下方，使其完全接收到光路投射出的光信號，即可實現(xiàn)對光源能量便捷實時的檢測。與通過相機(jī)測量對比，本申請通過硬件電路進(jìn)行測量的結(jié)果誤差較小。