一種等壓式分區(qū)吸附工作臺
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202110219794.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112859546A | 公開（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申請公布號 | CN112859546A | 申請公布日 | 2021-05-28 |
| 分類號 | G03F7/20(2006.01)I;H05K3/06(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 肖燕青;曾振軍;何偉;陳海巍;王方江 | 申請（專利權(quán)）人 | 無錫影速半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 哈爾濱市陽光惠遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 林娟 |
| 地址 | 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道200號中國傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園F3棟1-3層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種等壓式分區(qū)吸附工作臺，屬于曝光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。通過設(shè)置獨(dú)立的抽真空共壓腔，并通過抽真空管路連通每個工作區(qū)域?qū)?yīng)的抽真空共壓腔，使每個獨(dú)立的工作區(qū)域在抽真空狀態(tài)下，都處于同一腔體內(nèi)，形成共壓腔，從而保證每個獨(dú)立工作區(qū)域在負(fù)壓狀態(tài)下的共壓，解決現(xiàn)有技術(shù)每個獨(dú)立工作區(qū)域在負(fù)壓狀態(tài)下壓力不一的問題；通過設(shè)置抽真空控制氣缸控制抽真空覆蓋控制組件通斷，實(shí)現(xiàn)最佳吸盤分區(qū)效果。?? |
