一種基于橫向摩擦的單表面摩擦發(fā)電機(jī)及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310293792.1 申請日 -
公開（公告）號 CN103337985B 公開（公告）日 2015-10-28
申請公布號 CN103337985B 申請公布日 2015-10-28
分類號 H02N1/04(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 分類 發(fā)電、變電或配電;
發(fā)明人 張海霞;劉雯;韓夢迪;孫旭明;孟博 申請（專利權(quán)）人 北京大學(xué)科技開發(fā)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市商泰律師事務(wù)所 代理人 毛燕生
地址 100871 北京市海淀區(qū)中關(guān)村頤和園路5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及MEMS集成加工技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種基于橫向摩擦的單表面摩擦發(fā)電機(jī)及其制備方法，通過兩組相同結(jié)構(gòu)相對、相互水平摩擦組成，其中，所述結(jié)構(gòu)包含五層，最外層為導(dǎo)電層，與導(dǎo)電層相鄰的為薄膜層，薄膜層另一側(cè)設(shè)有薄膜納米結(jié)構(gòu)層，薄膜納米結(jié)構(gòu)層另一側(cè)設(shè)有金屬電極，金屬電極另一側(cè)設(shè)有金屬電極納米結(jié)構(gòu)層；本發(fā)明的優(yōu)勢在于：同傳統(tǒng)的豎直方向的兩層薄膜發(fā)電機(jī)相比，該單層結(jié)構(gòu)利用了水平方向的摩擦力，而且電極輸出在同一平面，有利于后續(xù)的加工與集成，本發(fā)明提出的納米發(fā)電機(jī)及其制備方法工藝簡單、成本低、產(chǎn)率高、可批量生產(chǎn)，易于集成加工且所提出新型結(jié)構(gòu)有效的利用了自然界中水平方向的摩擦。