壓電摩擦復合式微納發(fā)電機及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310024565.9 申請日 -
公開（公告）號 CN103107737B 公開（公告）日 2015-12-09
申請公布號 CN103107737B 申請公布日 2015-12-09
分類號 H02N2/18(2006.01)I;H02N1/04(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B81C99/00(2010.01)I 分類 發(fā)電、變電或配電;
發(fā)明人 張海霞;韓夢迪;張曉升;劉雯 申請（專利權）人 北京大學科技開發(fā)有限公司
代理機構 北京市商泰律師事務所 代理人 北京大學
地址 100871 北京市海淀區(qū)中關村頤和園路5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及MEMS集成加工領域，具體涉及一種基于壓電摩擦復合式微納發(fā)電機及其制備方法，采用壓電薄膜構成壓電型發(fā)電機，利用壓電薄膜金屬電極與其它柔性聚合物材料對電荷束縛能力的差異構成摩擦型發(fā)電機。同傳統(tǒng)的壓電型發(fā)電機、摩擦型發(fā)電機相比，將壓電與摩擦復合，并通過合理的外電路連接方式，可以高效地為電容充電，并提供高達百伏的電壓輸出。綜上所述，本發(fā)明提出的壓電摩擦復合式微納發(fā)電機及其制備方法成本低、產率高、工藝簡單，而且具有高電壓輸出和很強的充電能力。發(fā)電機結構包括：壓電薄膜、壓電薄膜電極、具有微納復合結構的柔性聚合物材料、聚合物材料電極。