一種微型摩擦式能量采集器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310517933.3 申請日 -
公開（公告）號 CN103523743B 公開（公告）日 2016-06-29
申請公布號 CN103523743B 申請公布日 2016-06-29
分類號 B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 張海霞;韓夢迪;孫旭明;劉雯;張曉升;孟博 申請（專利權(quán)）人 北京大學科技開發(fā)有限公司
代理機構(gòu) 北京市商泰律師事務(wù)所 代理人 毛燕生
地址 100871 北京市海淀區(qū)北京大學紅三樓105
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及MEMS集成加工技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種微型摩擦式能量采集器及其制備方法，包括硅質(zhì)量塊及硅質(zhì)量塊上設(shè)有的底電極、摩擦材料、上電極；底電極通過濺射、光刻、腐蝕工藝加工并圖形化，摩擦材料通過化學氣相沉積制備，底電極與摩擦材料接觸并相互摩擦，上電極通過濺射、光刻、腐蝕工藝加工并圖形化；本發(fā)明的優(yōu)勢在于：本發(fā)明無需外加電源、無需制備駐極體，解決了傳統(tǒng)靜電式能量采集器的不足之處；本發(fā)明采用MEMS微加工工藝批量化生產(chǎn)，成本低、產(chǎn)量大、可控性好、適于商業(yè)生產(chǎn)與應用。