一種測量任意表面法向誤差的激光測量裝置與方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711398299.0 申請日 -
公開（公告）號 CN108007362B 公開（公告）日 2020-04-07
申請公布號 CN108007362B 申請公布日 2020-04-07
分類號 G01B11/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 凌四營;蔡引娣;陳義磊;毛平;王曉東;王立鼎 申請（專利權(quán)）人 金齒傳動科技（大連）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連理工大學(xué)專利中心 代理人 大連理工大學(xué)
地址 116024 遼寧省大連市甘井子區(qū)凌工路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于精密測量技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種測量任意表面法向誤差的激光測量裝置與方法，裝置包括：位移傳遞杠桿、反射鏡、激光器及激光器姿態(tài)調(diào)整；其中位移傳遞杠桿由測頭、支架、交叉簧片組成。本發(fā)明提供了一種適用于任意表面法向誤差的激光測量裝置與方法，既適用于反光曲面的精密測量，也適用于非反光的曲面精密測量。通過一種微位移轉(zhuǎn)換杠桿，將測點(diǎn)位置的微位移量等比例轉(zhuǎn)換成反射鏡光斑的微位移量，通過光斑位置的變動來表征零件表面測點(diǎn)位置的變動。該裝置的測量精度可達(dá)10nm，分辨率可達(dá)1nm，具有測量精度高、測量方便、成本低的優(yōu)點(diǎn)，具有廣闊的市場應(yīng)用前景。