一種高溫清洗防漂片夾具
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201922254781.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211247691U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-08-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211247691U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-14 |
| 分類號(hào) | B08B13/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 崔文榮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇晟馳微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京天盾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 江蘇晟馳微電子有限公司 |
| 地址 | 226600江蘇省南通市海安經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)康華路55號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高溫清洗防漂片夾具，包括夾具本體，夾具本體包括提手，提手由左縱桿、右縱桿和上橫桿組成，且左縱桿、右縱桿和上橫桿一體成型形成U形結(jié)構(gòu)，左縱桿下端部設(shè)置第一內(nèi)卡塊，右縱桿下端部設(shè)置第二內(nèi)卡塊，且第一內(nèi)卡塊、第二內(nèi)卡塊與片架兩側(cè)的卡槽相匹配，左縱桿和右縱桿外壁上均開(kāi)有卡接槽，兩個(gè)卡接槽之間卡接擋桿，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)新穎，制作方便，有效的阻止晶圓在清洗過(guò)程中從承載工裝——花籃內(nèi)向上浮出，百分之百避免因工藝條件導(dǎo)致的硅片上浮產(chǎn)生不良的現(xiàn)象，提高產(chǎn)品良率，做到0漂浮不良產(chǎn)生。?? |
