酸性蝕刻液電解多組分添加劑

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410309155.3 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN104152944B 公開(公告)日 2017-04-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN104152944B 申請(qǐng)公布日 2017-04-26
分類號(hào) C25C1/12(2006.01)I 分類 電解或電泳工藝;其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)(專利權(quán))人 深圳市新銳思環(huán)??萍加邢薰?/a>
代理機(jī)構(gòu) 深圳市神州聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 深圳市新銳思環(huán)??萍加邢薰?/td>
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道G107國(guó)道西鄉(xiāng)段鶴洲立交世紀(jì)車城西側(cè)中拓環(huán)保大廈一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種酸性蝕刻液電解多組分添加劑,由以下成份按照質(zhì)量配比組成:光亮劑和整平劑1~3%;表面活性劑5~10%;溶劑87~96%。本發(fā)明提供的添加劑,在光亮劑和整平劑協(xié)同作用下,能顯著增大陰極銅極化作用,通過吸附作用阻化銅電沉積過程,影響銅晶體生長(zhǎng),使銅電積層晶粒顯著細(xì)化,同時(shí)電解液分散能力增大,降低低電流區(qū)電阻,幫助低電流區(qū)的銅增長(zhǎng),改善低電流區(qū)的光亮度和平整性;而表面活性劑降低金屬基體的表面張力,使添加劑易于吸附,且增加溶液分散性,溶液分布均勻,減少陰極銅分支及顆粒凸點(diǎn)產(chǎn)生。因此,在添加劑的光亮劑和整平劑以及表面活性劑的作用下,產(chǎn)生的陰極銅成板狀、光亮性好、結(jié)構(gòu)致密平整,純度高。