一種芯片自動(dòng)供給裝置及供給方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111416889.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN113838789A 公開(kāi)(公告)日 2022-03-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN113838789A 申請(qǐng)公布日 2022-03-08
分類(lèi)號(hào) H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687;H01L21/68;G01R31/28 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 牛超凡;杜海洋;趙莉娜;郭巖;呂晨紅;曹清;周子博 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 河北圣昊光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三聚陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄭越
地址 050000 河北省石家莊市高新區(qū)長(zhǎng)江大道315號(hào)創(chuàng)新大廈23樓A3
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及芯片測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種芯片自動(dòng)供給裝置及供給方法。一種芯片自動(dòng)供給裝置,包括:承載機(jī)構(gòu),具有用于放置芯片的承載區(qū),所述承載區(qū)為透明材質(zhì),所述承載機(jī)構(gòu)連接有第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu);頂出機(jī)構(gòu),設(shè)于所述承載機(jī)構(gòu)的下方,包括座體和設(shè)于所述座體中心的頂針,所述座體朝向所述承載機(jī)構(gòu)的端面上設(shè)有多個(gè)用于吸附承載區(qū)的通孔,所述座體連接有抽氣機(jī)構(gòu),所述頂針連接有第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu);吸附機(jī)構(gòu)和定位對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu),依次設(shè)置在所述承載機(jī)構(gòu)上方,且所述定位對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)、吸附機(jī)構(gòu)、承載機(jī)構(gòu)的承載區(qū)上的待測(cè)芯片和頂針的中心重合。本發(fā)明提供了一種吸附準(zhǔn)確度較高,且不易損壞藍(lán)膜的芯片自動(dòng)供給裝置及供給方法。