一種芯片自動(dòng)對(duì)位裝置及對(duì)位方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111408166.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113835019B 公開（公告）日 2022-02-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN113835019B 申請(qǐng)公布日 2022-02-18
分類號(hào) G01R31/28（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 杜海洋;牛超凡;趙莉娜;梁書堯;張明亮;劉強(qiáng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 河北圣昊光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三聚陽光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄭越
地址 050000河北省石家莊市高新區(qū)長江大道315號(hào)創(chuàng)新大廈23樓A3
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種芯片自動(dòng)對(duì)位裝置及對(duì)位方法，屬于激光器芯片檢測(cè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，芯片自動(dòng)對(duì)位裝置包括：移動(dòng)機(jī)構(gòu)；對(duì)位件，對(duì)位件具有校正板；校正板上開設(shè)有適于芯片通過的第一孔體，第一孔體一組相對(duì)的側(cè)面上開設(shè)有避讓槽。本發(fā)明提供的芯片自動(dòng)對(duì)位裝置，通過控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)對(duì)位件進(jìn)行第一方向和第二方向上前后左右的移動(dòng)，在對(duì)位件進(jìn)行前后左右移動(dòng)時(shí)，位于對(duì)位件第一孔體內(nèi)的芯片在第一孔體的側(cè)面作用下進(jìn)行角度和位置的調(diào)整，并且在第一孔體上設(shè)置有避讓槽，避讓槽可以避免芯片上的發(fā)光點(diǎn)接觸到第一孔體的側(cè)面。保證芯片在檢測(cè)時(shí)處于準(zhǔn)確的位置及角度，避免檢測(cè)機(jī)構(gòu)無法精準(zhǔn)檢測(cè)芯片上對(duì)應(yīng)位置的現(xiàn)象發(fā)生，保證芯片檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。