一種半導(dǎo)體芯片的檢測(cè)裝置及其檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010730212.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111940306A 公開（公告）日 2020-11-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN111940306A 申請(qǐng)公布日 2020-11-17
分類號(hào) B07C5/00;B07C5/02;B07C5/36 分類 將固體從固體中分離；分選;
發(fā)明人 楊婭;劉麗梅;曾繁春;劉帥 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳連碩自動(dòng)化科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市添源知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 黎健任
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)松崗街道樓崗大道1號(hào)301、401
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體芯片的檢測(cè)裝置及其檢測(cè)方法，該檢測(cè)裝置包括工作臺(tái)，所述工作臺(tái)上設(shè)有治具輸送機(jī)構(gòu)，所述治具輸送機(jī)構(gòu)的一側(cè)設(shè)有X軸移動(dòng)模組；所述X軸移動(dòng)模組上設(shè)有檢測(cè)吸板，所述X軸移動(dòng)模組的上方依次設(shè)有吸板機(jī)構(gòu)、視覺檢測(cè)機(jī)構(gòu)、翻轉(zhuǎn)吸盤組合機(jī)構(gòu)；所述吸板機(jī)構(gòu)包括真空吸板和吸板移動(dòng)模組；所述翻轉(zhuǎn)吸盤組合機(jī)構(gòu)包括翻轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、翻轉(zhuǎn)吸板和翻轉(zhuǎn)移動(dòng)模組，所述翻轉(zhuǎn)移動(dòng)模組通過翻轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與翻轉(zhuǎn)吸板連接；所述治具輸送機(jī)構(gòu)的上方設(shè)有不良品吸取機(jī)構(gòu)，所述不良品吸取機(jī)構(gòu)位于視覺檢測(cè)機(jī)構(gòu)的一側(cè)。采用本發(fā)明的技術(shù)方案，可進(jìn)行芯片正反面的自動(dòng)檢測(cè)，避免了手工接觸芯片造成污染及損壞，極大的提高了檢測(cè)的效率。