一種掃描電鏡用樣品臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022987863.6 申請日 -
公開（公告）號 CN213878015U 公開（公告）日 2021-08-03
申請公布號 CN213878015U 申請公布日 2021-08-03
分類號 H01J37/20（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 姬靜遠(yuǎn);王磊;白國人;陳帥;陳景春;曲迪 申請（專利權(quán)）人 天津華慧芯科技集團(tuán)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市鼎和專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 蒙建軍
地址 300467天津市濱海新區(qū)生態(tài)城中天大道1620號生態(tài)科技園啟發(fā)大廈12層101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種掃描電鏡用樣品臺，屬于掃描電鏡測試技術(shù)領(lǐng)域，包括圓柱形的樣品臺本體；在所述樣品臺本體的上表面開設(shè)有N組滑道；每組滑道包括位于同一直線上的兩條滑道，每條滑道的一端位于樣品臺本體的側(cè)面，每條滑道的長度小于樣品臺本體的半徑；所述直線與樣品臺本體的一條直徑重合；在每條滑道上安裝有一根立柱，所述立柱包括與所述滑道配合運動的滑塊、固定于滑塊上表面的立桿；在所述立桿上套接有壓片；在所述立桿上開設(shè)有與螺母配合的外螺紋，所述滑道的軸截面成凸字形。本實用新型不需要碳膠帶固定樣品，便于取放樣品，減小薄片、易碎片的碎片風(fēng)險。壓片與樣片上表面直接接觸，改善樣品的導(dǎo)電性，利于導(dǎo)電性差樣品的測試。