一種變徑式掃描電鏡用柱狀樣品臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022988280.5 申請日 -
公開（公告）號 CN213878016U 公開（公告）日 2021-08-03
申請公布號 CN213878016U 申請公布日 2021-08-03
分類號 H01J37/20（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 梁娟;王磊;白國人;陳帥;陳景春;曲迪 申請（專利權(quán)）人 天津華慧芯科技集團(tuán)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市鼎和專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 蒙建軍
地址 300467天津市濱海新區(qū)生態(tài)城中天大道1620號生態(tài)科技園啟發(fā)大廈12層101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種變徑式掃描電鏡用柱狀樣品臺，屬于掃描電鏡技術(shù)領(lǐng)域，其特征在于，自下而上依次包括：樣品臺底座、金屬葉片和活動(dòng)柱狀圓環(huán)，樣品臺底座包括圓柱形的底座本體，在底座本體的上表面中心位置開設(shè)有圓形槽，在底座本體的上表面開設(shè)有均勻分布的2N個(gè)直盲孔；在底座本體的下表面中心位置開設(shè)有連接緊固螺釘B用的螺紋孔；金屬葉片為2N個(gè)，每個(gè)金屬葉片的下表面固定有與直盲孔配合用的固定銷釘每個(gè)金屬葉片的上表面固定有活動(dòng)銷釘；所述活動(dòng)柱狀圓環(huán)上表面內(nèi)側(cè)開設(shè)有與活動(dòng)銷釘配合的滑行軌道，所述活動(dòng)柱狀圓環(huán)的外側(cè)壁開設(shè)有水平螺紋孔，在水平螺紋孔內(nèi)安裝有緊固螺釘A，所述活動(dòng)柱狀圓環(huán)的內(nèi)徑大于樣品臺底座的外徑。