一種晶圓烘烤用熱板
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022988331.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN214338152U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214338152U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-01 |
| 分類(lèi)號(hào) | H05B3/20（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分類(lèi) | 其他類(lèi)目不包含的電技術(shù); |
| 發(fā)明人 | 王磊;曲迪;白國(guó)人;明辰;陳帥;陳景春;梁娟;姬靜遠(yuǎn) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 天津華慧芯科技集團(tuán)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 天津市鼎和專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 蒙建軍 |
| 地址 | 300467天津市濱海新區(qū)生態(tài)城中天大道1620號(hào)生態(tài)科技園啟發(fā)大廈12層101 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶圓烘烤用熱板，屬于半導(dǎo)體材料技術(shù)領(lǐng)域，包括底座和加熱板；其特征在于，所述底座的上表面通過(guò)多根柱子與加熱板的下表面固定連接；在所述加熱板上開(kāi)設(shè)有多個(gè)豎直方向設(shè)置的通孔；至少還包括：位于每個(gè)通孔內(nèi)的立柱；所述立柱的直徑小于通孔的內(nèi)徑；與所述立柱下端連接的支架；帶動(dòng)支架在豎直方向運(yùn)動(dòng)的傳送機(jī)構(gòu)；以及計(jì)時(shí)器；所述傳送機(jī)構(gòu)包括電機(jī)，所述支架與豎直方向設(shè)置的傳送桿固定連接，所述電機(jī)的軸承與傳送桿相互垂直，且兩者之間相互嚙合。本實(shí)用新型對(duì)熱板表面的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了改良，方便了晶圓的取放，另外加入了計(jì)時(shí)裝置；使得晶圓取放非常容易，并且烘烤時(shí)間可控。 |
