一種晶圓烘烤用熱板

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022988331.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214338152U 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN214338152U 申請公布日 2021-10-01
分類號 H05B3/20（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 王磊;曲迪;白國人;明辰;陳帥;陳景春;梁娟;姬靜遠(yuǎn) 申請（專利權(quán)）人 天津華慧芯科技集團(tuán)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市鼎和專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 蒙建軍
地址 300467天津市濱海新區(qū)生態(tài)城中天大道1620號生態(tài)科技園啟發(fā)大廈12層101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶圓烘烤用熱板，屬于半導(dǎo)體材料技術(shù)領(lǐng)域，包括底座和加熱板；其特征在于，所述底座的上表面通過多根柱子與加熱板的下表面固定連接；在所述加熱板上開設(shè)有多個(gè)豎直方向設(shè)置的通孔；至少還包括：位于每個(gè)通孔內(nèi)的立柱；所述立柱的直徑小于通孔的內(nèi)徑；與所述立柱下端連接的支架；帶動(dòng)支架在豎直方向運(yùn)動(dòng)的傳送機(jī)構(gòu)；以及計(jì)時(shí)器；所述傳送機(jī)構(gòu)包括電機(jī)，所述支架與豎直方向設(shè)置的傳送桿固定連接，所述電機(jī)的軸承與傳送桿相互垂直，且兩者之間相互嚙合。本實(shí)用新型對熱板表面的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了改良，方便了晶圓的取放，另外加入了計(jì)時(shí)裝置；使得晶圓取放非常容易，并且烘烤時(shí)間可控。