一種用于表征樣品噴金的截面樣品臺(tái)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022987861.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN214334441U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214334441U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-01 |
| 分類號(hào) | G01N1/32（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 王俊;陳帥;白國(guó)人;王磊;明辰;林海鵬;陳景春;曲迪 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 天津華慧芯科技集團(tuán)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 天津市鼎和專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 蒙建軍 |
| 地址 | 300467天津市濱海新區(qū)生態(tài)城中天大道1620號(hào)生態(tài)科技園啟發(fā)大廈12層101 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于表征樣品噴金的截面樣品臺(tái)，屬于半導(dǎo)體材料技術(shù)領(lǐng)域，包括拋光樣品臺(tái)底座、截面樣品噴金臺(tái)和截面樣品貼片；拋光樣品臺(tái)底座上表面開(kāi)設(shè)有豎直方向上的垂直孔和水平方向上的螺紋孔，垂直孔和螺紋孔連通，螺紋孔內(nèi)設(shè)置有緊固螺絲釘，垂直孔為盲孔；截面樣品噴金臺(tái)包括噴金臺(tái)底座；噴金臺(tái)底座的下表面設(shè)置有與垂直孔配合用的凸起；噴金臺(tái)底座的上表面設(shè)置有端擋板和位于端擋板兩端的側(cè)擋板；端擋板和側(cè)擋板相互垂直；兩個(gè)側(cè)擋板的相對(duì)面上固定截面樣品貼片的突起卡槽。本申請(qǐng)將加工樣品平面貼在截面樣品貼片上，將截面樣品貼片平面推入卡槽并與之固定，由于截面樣品貼片的凹槽與卡槽的突起部分能夠剛好吻合，故能夠?qū)⑵涔潭ā?/td> |
