一種OLED顯示器晶圓圖的測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110337659.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113034474A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113034474A 申請公布日 2021-06-25
分類號 G06T7/00;G06T7/11;G06K9/32;G06K9/38;G06T5/00;G06T5/40;G06T7/136;H01L21/66;H01L27/32 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 王鑫鑫;嚴華寧;粘為進 申請（專利權(quán)）人 無錫美科微電子技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 合肥方舟知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 朱榮
地址 214000 江蘇省無錫市錫山經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)萬全路30號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種OLED顯示器晶圓圖的測試方法。本發(fā)明中，采用型號為MantaG?917B的黑白工業(yè)千兆網(wǎng)相機，具有900萬像素分辨率。根據(jù)晶圓成像區(qū)域視野大小寬約3mm，傳感器裝置的尺寸寬12.8mm，以及成像要求，所以選擇4倍遠心放大鏡頭，C型接口的工業(yè)遠心鏡頭進行拍攝；之后通過多種處理方式對內(nèi)部晶圓圖案輪廓進行仿射變換，剪裁區(qū)域后分區(qū)域作不同閾值分割和形態(tài)學處理，進而實現(xiàn)點狀缺陷、線狀缺陷、面狀缺陷、大面積污染缺陷、缺角缺陷的缺陷檢測與缺陷標記，同時也簡化了復雜的操作流程，方便了后續(xù)的工作人員對晶圓進行檢測，各種圖像的預處理技術(shù)提高了圖像處理的清晰度從而使得后續(xù)的測試過程結(jié)果更加具有準確性和真實性。