電子和離子的等離子體源

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610247327.8 申請日 -
公開（公告）號 CN105762053B 公開（公告）日 2018-08-14
申請公布號 CN105762053B 申請公布日 2018-08-14
分類號 H01J37/32;H05H1/24 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 于寶海;謝廣亮 申請（專利權）人 沈陽金鋒特種設備股份有限公司
代理機構 沈陽晨創(chuàng)科技專利代理有限責任公司 代理人 張晨
地址 110168 遼寧省沈陽市渾南區(qū)渾南中路35號604-107室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種電子和離子的等離子體源，包括：空心陰極、空心陰極法蘭、陶瓷絕緣子Ⅰ、筒形陽極、陶瓷絕緣子Ⅱ、發(fā)射體陰極法蘭、陶瓷絕緣子Ⅲ、主法蘭、等離子體源外殼、加速電極法蘭、加速電極、發(fā)射體陰極、發(fā)射體陰極固定器、永磁體、永磁體固定器；空心陰極包括由鐵氧體磁性鋼制成的空心陰極外殼、難熔金屬制成的小管、等離子體生成室、工作氣體供給管道和等離子體衰減室，發(fā)射體陰極包括由鐵氧體磁性鋼制成的發(fā)射體陰極外殼和設于由鐵氧體磁性鋼制成的發(fā)射體陰極外殼內部的難熔金屬制成的嵌塊，難熔金屬制成的嵌塊內部上端開設有錐形凹槽，其下端設有與錐形凹槽連通的發(fā)射孔。本發(fā)明壽命長、穩(wěn)定性強、效率高。