同時生產(chǎn)多尺寸多晶硅和多種類硅基氣體的系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023136053.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214299303U 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN214299303U 申請公布日 2021-09-28
分類號 C01B33/03（2006.01）I;C01B33/035（2006.01）I;C01B33/107（2006.01）I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 張寶順;陳海寶;劉建華;劉廷澤;蔡延國;蔡向忠;宗冰;肖建忠;尹東林;鄭連基;王體虎 申請（專利權(quán)）人 青海省亞硅硅材料工程技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都華風(fēng)專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張巨箭
地址 810007青海省西寧市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)金硅路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了同時生產(chǎn)多尺寸多晶硅和多種類硅基氣體的系統(tǒng)，包括多晶硅還原爐、流化床反應(yīng)器、粉末多晶硅收集裝置、第一換熱器、第二換熱器、第一精餾塔、第二精餾塔、第三精餾塔、第四精餾塔、第五精餾塔、第六精餾塔、第一分離塔、第一混合器、第二混合器及氯硅烷反應(yīng)器。本實(shí)用新型可以僅利用一套系統(tǒng)同時生產(chǎn)出塊狀多晶硅、顆粒多晶硅和粉末多晶硅，以及四氯化硅等多種單體或聚合硅基氣體，能夠從最大程度上降低多晶硅和硅基氣體的生產(chǎn)成本，將有效促進(jìn)光伏能源產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)的快速、健康發(fā)展。