一種新型立體導(dǎo)電的肖特基二極管

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021494485.1 申請日 -
公開(公告)號 CN212542447U 公開(公告)日 2021-02-12
申請公布號 CN212542447U 申請公布日 2021-02-12
分類號 H01L29/872(2006.01)I; 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 薛濤;關(guān)仕漢;遲曉麗 申請(專利權(quán))人 淄博漢林半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 淄博川誠知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 高鵬飛
地址 255086山東省淄博市高新區(qū)政通路135號高科技創(chuàng)業(yè)園C416室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種新型立體導(dǎo)電的肖特基二極管,包括N+襯底,所述N+襯底的上表面開設(shè)有N?外延,所述N?外延上表面的四周均開設(shè)有氧化硅保護(hù)層,所述N?外延的中部有源區(qū)位置開設(shè)有多個有源區(qū)溝槽,所述氧化硅層的下面位于有源區(qū)溝槽的四周開設(shè)有1個或多個位于N?外延的終止區(qū)溝槽,所述有源區(qū)溝槽的內(nèi)壁及有源區(qū)N?外延有源區(qū)表面設(shè)有肖特基界面;本實用新型通過采用立體的肖特基界面,使有效的肖特基導(dǎo)電面積比有源區(qū)溝槽式肖特基增大1?5倍,大大的增加了導(dǎo)電面積減小正向壓降,提高產(chǎn)品導(dǎo)通時的效率,在進(jìn)行使用時具備更高的實用性,結(jié)構(gòu)簡單,具備一定的有益效果。??