體聲波濾波器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110829422.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113472314A 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN113472314A 申請公布日 2021-10-01
分類號 H03H9/54（2006.01）I;H03H9/10（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 蔣將;李平;胡念楚;賈斌 申請（專利權(quán)）人 開元通信技術(shù)（廈門）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人 張體南
地址 361026福建省廈門市海滄區(qū)海滄大道555號廈門中心大廈E棟19樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供了一種體聲波濾波器及其制備方法。該體聲波濾波器包括基板、諧振結(jié)構(gòu)、底電極結(jié)構(gòu)和蓋板結(jié)構(gòu)。諧振結(jié)構(gòu)設(shè)置于基板的中間位置；底電極結(jié)構(gòu)設(shè)置于基板的表面上，并覆蓋諧振結(jié)構(gòu)的諧振腔；蓋板結(jié)構(gòu)與底電極結(jié)構(gòu)鍵合連接，將諧振結(jié)構(gòu)密封于蓋板結(jié)構(gòu)和基板之間的密封空間中。相對于現(xiàn)有技術(shù)中底電極結(jié)構(gòu)凹設(shè)于基板的溝槽中的結(jié)構(gòu)設(shè)計，通過將底電極結(jié)構(gòu)直接形成于基板上表面，省去了對基板的溝槽刻蝕等工藝，簡化了微帽晶圓加工層數(shù)和加工步驟流程，極大地降低了成本，同時可以保證體聲波濾波器的器件性能和器件質(zhì)量。