一種用于XPS可回收空氣敏感樣品的轉(zhuǎn)移裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921211814.4 申請日 -
公開（公告）號 CN210427411U 公開（公告）日 2020-04-28
申請公布號 CN210427411U 申請公布日 2020-04-28
分類號 G01N23/2273;G01N23/2204 分類 測量；測試;
發(fā)明人 韓廣帥;楊雅晴;崔佳佳;姚一帆 申請（專利權(quán)）人 上海蓄熙新能源材料檢測有限公司
代理機構(gòu) 上海市錦天城律師事務(wù)所 代理人 何金花;何晶晶
地址 201804 上海市嘉定區(qū)安亭鎮(zhèn)曹安公路4801號208室-1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種用于XPS可回收空氣敏感樣品的轉(zhuǎn)移裝置，包括：樣品座、樣品臺及樣品蓋；樣品座包括內(nèi)腔、外壁、空心柱、單向真空閥及密封圈，空心柱位于所述內(nèi)腔的中心，在空心柱的內(nèi)壁上設(shè)有螺紋，空心柱的高度不超過內(nèi)腔的高度；單向真空閥設(shè)置在外壁上并貫穿內(nèi)壁，密封圈設(shè)置在樣品座的開口處。本實用新型裝置用于自動進樣及手動進樣的XPS設(shè)備，可實現(xiàn)空氣敏感樣品的非大氣暴露測試，以及樣品的非大氣暴露回收再用。