一種U型蝕刻直角臺面硅二極管及其硅芯和硅擴(kuò)散晶圓片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620601264.7 申請日 -
公開（公告）號 CN205692839U 公開（公告）日 2016-11-16
申請公布號 CN205692839U 申請公布日 2016-11-16
分類號 H01L29/861(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳福元;胡煜濤;毛建軍;任亮;蘇云清;虞旭俊 申請（專利權(quán)）人 杭州賽晶電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 代理人 張法高;傅朝棟
地址 310000浙江省杭州市蕭山區(qū)靖江街道和順村黎明社區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種U型蝕刻直角臺面硅二極管硅芯，由下到上分別為P+型雜質(zhì)擴(kuò)散層、原始硅單晶N?型層和N+型雜質(zhì)擴(kuò)散層，硅芯側(cè)面的臺面呈直角，所述的直角臺面為完整光滑的平面。該直角臺面是由各向異性擇優(yōu)化學(xué)腐蝕獲得。同時，本實(shí)用新型還公開了一種制備所述硅芯的硅擴(kuò)散晶圓片及該硅芯制備的二極管。本實(shí)用新型的直角臺面硅二極管硅芯優(yōu)點(diǎn)是低成本，易于實(shí)現(xiàn)規(guī)模生產(chǎn)，產(chǎn)品性價比較高，產(chǎn)生顯著經(jīng)濟(jì)效益。