一種氮化物器件倒裝的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN03138894.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN100395897C 公開（公告）日 2008-06-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN100395897C 申請(qǐng)公布日 2008-06-18
分類號(hào) H01L33/00(2006.01);H01S5/00(2006.01) 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 何曉光 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廈門市三安光電股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門原創(chuàng)專利事務(wù)所 代理人 廈門三安電子有限公司;廈門市三安光電科技有限公司
地址 361009福建省廈門市呂嶺路1721號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種氮化物器件倒裝的方法，氮化物器件與載體之間通過焊錫溶解實(shí)現(xiàn)鍵合，焊錫溶解由激光能量提供。激光通過對(duì)其透明的氮化物器件或載體照射到氮化物器件與載體的鍵合面。采用此激光鍵合方法較傳統(tǒng)加熱爐中溶合的方法具有巨大的優(yōu)點(diǎn)。