基于溫度調(diào)節(jié)性能的石墨烯仿生光探測器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710024581.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108303122A 公開（公告）日 2018-07-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN108303122A 申請(qǐng)公布日 2018-07-20
分類號(hào) G01D5/26;C23C16/26 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李鐵;仝敬;王伊;張蕾;高安然;張東偉;宋海峰;王躍林 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京正旦國際科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 余明偉
地址 200050 上海市長寧區(qū)長寧路865號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種基于溫度調(diào)節(jié)性能的石墨烯仿生光探測器及其制備方法，所述制備方法包括：1)提供石墨烯及微加熱器平臺(tái)，并將所述石墨烯轉(zhuǎn)移至所述微加熱器平臺(tái)上；2)將步驟1)所得到的結(jié)構(gòu)置于化學(xué)氣相沉積反應(yīng)爐中退火；3)于退火后的所述石墨烯表面通過試劑進(jìn)行修飾，形成具有活性基團(tuán)的活性薄膜；4)于所述活性薄膜表面形成光受體蛋白。本發(fā)明通過采用懸膜式的加熱結(jié)構(gòu)連接石墨烯，并在石墨烯表面修飾光受體蛋白，一方面采用光受體蛋白實(shí)現(xiàn)波長選擇性，提高光吸收率；另一方面采用懸膜式加熱結(jié)構(gòu)，減少襯底對(duì)石墨烯性能的影響，更可以通過加熱電壓來調(diào)節(jié)工作溫度，從而調(diào)節(jié)光生載流子遷移率和濃度，以提高光探測器件的性能。