基于溫度調(diào)節(jié)性能的石墨烯仿生光探測(cè)器及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201710024581.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN108303122A | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-07-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108303122A | 申請(qǐng)公布日 | 2018-07-20 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01D5/26;C23C16/26 | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 李鐵;仝敬;王伊;張蕾;高安然;張東偉;宋海峰;王躍林 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 北京正旦國(guó)際科技有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海光華專(zhuān)利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 余明偉 |
| 地址 | 200050 上海市長(zhǎng)寧區(qū)長(zhǎng)寧路865號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種基于溫度調(diào)節(jié)性能的石墨烯仿生光探測(cè)器及其制備方法，所述制備方法包括：1)提供石墨烯及微加熱器平臺(tái)，并將所述石墨烯轉(zhuǎn)移至所述微加熱器平臺(tái)上；2)將步驟1)所得到的結(jié)構(gòu)置于化學(xué)氣相沉積反應(yīng)爐中退火；3)于退火后的所述石墨烯表面通過(guò)試劑進(jìn)行修飾，形成具有活性基團(tuán)的活性薄膜；4)于所述活性薄膜表面形成光受體蛋白。本發(fā)明通過(guò)采用懸膜式的加熱結(jié)構(gòu)連接石墨烯，并在石墨烯表面修飾光受體蛋白，一方面采用光受體蛋白實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)選擇性，提高光吸收率；另一方面采用懸膜式加熱結(jié)構(gòu)，減少襯底對(duì)石墨烯性能的影響，更可以通過(guò)加熱電壓來(lái)調(diào)節(jié)工作溫度，從而調(diào)節(jié)光生載流子遷移率和濃度，以提高光探測(cè)器件的性能。 |
