具有波長選擇性的石墨烯仿生光探測器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710018051.0 申請日 -
公開（公告）號 CN108305912A 公開（公告）日 2018-07-20
申請公布號 CN108305912A 申請公布日 2018-07-20
分類號 H01L31/18;H01L31/09;H01L31/028;H01L31/0216 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李鐵;王伊;仝敬;張蕾;高安然;張東偉;宋海峰;王躍林 申請（專利權(quán)）人 北京正旦國際科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 余明偉
地址 200050 上海市長寧區(qū)長寧路865號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種具有波長選擇性的石墨烯仿生光探測器及其制備方法，包括步驟：1)提供一基板；2)于所述基板上形成電極器件，包括測試電極、供電引線、供電電極；3)提供石墨烯并轉(zhuǎn)移至所述電極器件上，至少覆蓋所述測試電極；4)將上述結(jié)構(gòu)置于反應(yīng)爐中退火；5)于退火后的所述石墨烯表面形成具有活性基團(tuán)的活性薄膜；6)于所述活性薄膜表面形成光受體蛋白。本發(fā)明將石墨烯與對特定波長光輻射敏感的光受體蛋白相結(jié)合，尤其改變了本征石墨烯對光的無選擇性吸收并且吸收率低的缺點(diǎn)，靈敏度高，響應(yīng)和恢復(fù)快，穩(wěn)定性好，另外，本發(fā)明工藝過程簡單，成本較低，適于批量生產(chǎn)。