一種基于硅納米線的氣味識別生物傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510882994.9 申請日 -
公開(公告)號 CN106841629B 公開(公告)日 2019-10-22
申請公布號 CN106841629B 申請公布日 2019-10-22
分類號 G01N33/68 分類 測量;測試;
發(fā)明人 李鐵;王伊;高安然;張東偉;楊勛 申請(專利權(quán))人 北京正旦國際科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 代理人 郭婧婧;許亦琳
地址 200050 上海市長寧區(qū)長寧路865號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及生物傳感技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種基于硅納米線的氣味識別生物傳感器。本發(fā)明采用硅納米線作為換能器,其比表面積高,對表面電荷密度改變極為敏感,可實現(xiàn)氣相條件下氣味分子的高靈敏檢測,檢測靈敏度達(dá)到ppb量級;工藝過程簡單,可控性強(qiáng),可與現(xiàn)有半導(dǎo)體工藝完全兼容;成本較低,適于批量生產(chǎn)。