一種高世代TFT級細(xì)晶粒ITO靶材的制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110137140.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112723863A 公開（公告）日 2021-04-30
申請公布號 CN112723863A 申請公布日 2021-04-30
分類號 C04B35/01;C04B35/622;C23C14/34;C23C14/35 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 李鵬;文宏福 申請（專利權(quán)）人 韶關(guān)市歐萊高純材料技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天盾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 林曉宏
地址 512000 廣東省韶關(guān)市武江區(qū)西聯(lián)鎮(zhèn)陽山村委陽山五號路6號韶關(guān)市歐萊高新材料有限公司B幢廠房辦公區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高世代TFT級細(xì)晶粒ITO靶材的制造方法，包括粉末制備步驟、混合研磨步驟、噴霧造粒步驟、壓制成型步驟和燒結(jié)成型步驟。本發(fā)明的ITO靶材的制造方法，能制造大尺寸高密度晶粒的ITO靶材，靶材密度＞99.9％，均晶粒直徑控制在3至5μm。