一種調平系統(tǒng)和運動臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110466119.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114038773A 公開（公告）日 2022-02-11
申請公布號 CN114038773A 申請公布日 2022-02-11
分類號 H01L21/68（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 羅巖;傅為一;陸海亮;謝揚 申請（專利權）人 江蘇集萃蘇科思科技有限公司
代理機構 蘇州通途佳捷專利代理事務所（普通合伙） 代理人 翁德億
地址 215000江蘇省蘇州市相城區(qū)高鐵新城南天成路88號天成信息大廈601-A109室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種調平系統(tǒng)和運動臺。其包括：計算單元、控制閥、空氣隔振器、第一類補償器和第一類傳感器。計算單元用于根據(jù)平臺的質心變化軌跡計算出隔振器的壓力軌跡曲線，控制閥分別與計算單元以及空氣隔振器相連，控制閥用于根據(jù)壓力軌跡曲線控制空氣隔振器的運轉，第一類傳感器用于獲得平臺的垂向實際位置值，第一類補償器與第一類傳感器相連，第一類補償器用于根據(jù)實際位置值和設定位置值的差值計算出需要補償?shù)臍鈮褐怠Ｓ捎谔崆坝嬎愠隽藟毫壽E曲線，空氣隔振器可根據(jù)壓力軌跡曲線進行運行，有利于提高反應速度和反應精確度，且由于使用空氣隔振器來對平臺進行支撐，不會造成長期使用發(fā)熱量過大的情況。本申請的系統(tǒng)可長期穩(wěn)定的工作。