一種超聲換能器用壓電陣元的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110445995.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113314663A 公開（公告）日 2021-08-27
申請公布號 CN113314663A 申請公布日 2021-08-27
分類號 H01L41/337（2013.01）I;H01L41/29（2013.01）I;H01L41/31（2013.01）I;H01L41/312（2013.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉悅;劉恩清;馬有草;宋健 申請（專利權(quán)）人 淄博微銓新型金屬功能材料有限公司
代理機構(gòu) 北京安博達知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐國文
地址 255086山東省淄博市高新區(qū)柳泉路125號先進陶瓷產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新園A座510-10
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種超聲換能器用壓電陣元的制作方法，其包括將壓電陶瓷片減薄至50μm或其以下厚度；于減薄后的壓電陶瓷片的兩表面分別沉積電極后，再于其中一個表面設置背襯材料，得初始壓電陣元；切割初始壓電陣元，得壓電陣元。本發(fā)明提供的技術(shù)方案利用減薄壓電陣元中壓電陶瓷片厚度的工藝，同時實現(xiàn)了壓電陣元總體厚度的減小，以及對壓電陶瓷片厚度的精確控制，獲得了具有可調(diào)諧振頻率的壓電陣元；本發(fā)明采用的減薄后再沉積電極、設置背襯材料的技術(shù)方案既可使背襯材料設置均勻，又不影響對壓電陶瓷片與背襯材料的結(jié)合。